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ナノインプリント製造装置の概要と仕組み
ナノインプリント技術とは、ナノメートル（10億分の1メートル）レベルの微細なパターンを基板に転写 する製造技術です。原理は非常にシンプルで、ハンコやスタンプ のように型（モールド/金型）を押し付けてパターンを形成します。
仕組みのポイント
樹脂の塗布: 基板（シリコン、ガラス、樹脂など）の上に、光で硬化する樹脂（レジスト）を塗布します。 モールド（型）の押し付け: 微細なパターンが刻まれたモールド（金型）を、塗布された樹脂に直接押し付けます。 パターンの転写・硬化: 光（UV）方式: モールドを押し付けた状態で**紫外線（UV光）**を照射し、樹脂を瞬時に硬化させてパターンを転写します。現在の半導体加工では主流の方式です。 加熱方式: モールドを高温に加熱して押し付け、冷却して樹脂を硬化させます。 離型とエッチング: 樹脂が硬化したらモールドを離し、残った樹脂やエッチング（削る）プロセスを経て、基板上に目的の回路パターンなどを形成します。
特徴・メリット
シンプルかつ安価: 従来の半導体露光技術（リソグラフィー）に比べ、工程がシ… http://www.nji.jp/news/%E3%83%8A%E3%83%8E%E3%82%A4%E3%83%B3%E3%83%97%E3%83%AA%E3%83%B3%E3%83%88%E8%A3%BD%E9%80%A0%E8%A3%85%E7%BD%AE/
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4543 テルモ(株)
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業種: その他製品
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8035 東京エレクトロン(株)
市場 東証PRM
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